SuperViewW1光学3D表面轮廓仪是一款用于对精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理,结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌测量的光学检测仪器。该仪器具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点,其独特的光源模式,保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。
/SuperViewW1光学3D表面轮廓仪
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技术参数
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性能特点
高精度、高重复性:采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统;独特的隔振系统加持;
环境噪声检测功能:具备0.1nm分辨率的环境噪声检测模块,能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰;
精密操纵手柄:集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作;
双重防撞保护措施:在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外,另在Z轴上设计有机械电子传感器,最大限度的保护仪器;
双通道气浮隔振系统:既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配静音空压机,在无外接气源条件下可稳定工作。
XtremeVision 3D测量分析软件
一体化操作软件,测量与分析同界面操作,预先配置好分析参数,软件自动统计测量数据,实现快速批量测量功能。
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/应/用/实/例
APPLICATION INSTANCE
SuperView W1光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。
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应用案例

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▲超光华陶瓷样件测量
▶复合材料测量
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▶超疏水表面形貌测量
◀水机叶片磨损检测
GXT
西安广旭图测量产业集团
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