SuperViewW1光学3D表面轮廓仪是一款用于对精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理,结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌测量的光学检测仪器。该仪器具有测量精度高、使用方便、分析功能强大、测量参数齐全等优点,其独特的光源模式,保证了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。
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