仪器测量原理
该仪器为直角坐标测量法,触针接触式。X轴采用高精密的直线导轨为基准,Z1轴采用数字传感器,测绘出被测零件的表面轮廓形状的坐标点,通过计算机的软件对传感器采集的原始数据进行数学运算处理,标注所需的测量项目。
测量功能
粗糙度分析:Ra、Rq、Rz、Rp、Rt、Rsk、Rsm、Rc、Rz(DIN)、R3z、Rz(jis)、Rpmax
Rpm、Rku、Rdq/R△q、RδC、Mr1、Mr2、Rpk、Rvk、Rk、Rdc、A1、A2
Rx、AR、Rpc、Rmax、Rz-ISO、4um、Ry
波纹度分析:Wt、Wa、Wp、Wv、Wq、Wc、Wku、Wsk、W、Wx、Wz、Wsm、Wdc、Wte
Wmr、Aw、C(Wmr)、Wmr(C)、Wdq/W△q
原始轮廓分析:Pt、Pa、Pp、Pv、Pq、Pc、Pku、Psk、Pdq/p-q、Psm、Pdc、Pmr(c)、Pz
Pmr、C(pmr)
技术参数
项目 | 参数 | ||
测量范围 | X轴驱动器 | 100mm | |
Z1(传感器) 粗糙度和轮廓共用 | 20mm | ||
立柱高度 | 400mm | ||
测量精度 | X轴 (L=X轴移动导轨距离) | ±(0.8+0.2L/100)μm | |
Z1轴 (H=Z1轴方向测量高度) | ±(0.8+|0.2H|/100)μm | ||
残值轮廓 | ≤0.005μm | ||
示值误差 | ≤±(5nm+0.1A) | ||
示值重复性 | ≤±3% | ||
X轴 | 直线度 | 0.8μm /100mm | |
分辨率 | 0.01μm | ||
传感器 | 类型 | 光栅传感器 | |
分辨率 | 0.001μm | ||
评定长度 | λc×3、4、5、6、7 | ||
截止波长 | 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm | ||
运动控制 | 导轨移动速度 | 0.02mm至4.0mm/s | |
测量速度 | 0.02mm至4.0mm/s | ||
设备尺寸
产品(Product) | 包装(Packing) | 总重量 (Wt.kg) | 体积 (CBM m³) | ||||||
Lx | Ly | Lz | Wt(kg) | Lx | Ly | Lz | Wt(kg) | ||
920 | 720 | 1680 | 350 | 980 | 790 | 1720 | 50 | 400 | 0.88 |
使用要求
功率需求: AC 220V±10% 50Hz
环境要求:温度(T):10~30℃;相对湿度(RH):<85%
安装地点无明显振源
单独地线